ULVAC愛發(fā)科 MS 系列螺桿型干泵真空泵

ULVAC愛發(fā)科 MS 系列螺桿型干泵真空泵
MS系列是螺桿型干式真空泵。
在傳統(tǒng)的LS系列的基礎(chǔ)上，提高了耐腐蝕性和粉末排出性能。
該型號(hào)專為使用腐蝕性氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計(jì)。

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產(chǎn)品詳情

ULVAC愛發(fā)科 MS 系列螺桿型干泵真空泵

特點(diǎn)

通過對(duì)轉(zhuǎn)子軸和氣缸等主要部件進(jìn)行特殊涂層處理，以防腐蝕。

采用ULVAC設(shè)計(jì)的轉(zhuǎn)子軸，實(shí)現(xiàn)高性能的排粉。

從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運(yùn)行。

用途

半導(dǎo)體和電子器件制造設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng)，如刻蝕設(shè)備、去膠設(shè)備、等離子清洗設(shè)備等。

真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng)，如燒結(jié)爐、滲碳爐等。

鋰電池制造設(shè)備真空排氣系統(tǒng)，如電極干燥設(shè)備、脫泡設(shè)備、注液設(shè)備等。

醫(yī)療食品設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng)，如冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等。

規(guī)格

型號(hào)		MS120A	MS600A	MS1200A
最大排氣速度 *1	m³/h	115	560	980
到達(dá)壓力	Pa	≦0.6	≦0.1
電源電壓		200V Class：3Phase, 50/60Hz, AC200-240V±10% or 400V Class：3Phase, 50/60Hz, AC380-480V±10%
消費(fèi)電力概略值 *2	kW	2.4	3.1	3.1
冷卻水量	L/min	>4.0
Purge gas量 *1	SLM	0~50
最大水蒸氣處理量 13	kg/h	1.5
噪音值　*1	dB(A)	61	62	64
吸氣口		KF50(Horizontal) / VG50(Vertical)	ISO-F-80	ISO-F-100
排氣口		KF40
質(zhì)量 *4	kg	139	241	264
適用規(guī)格		CE、cTUVus