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日本原廠--ULVAC愛發(fā)科 陶瓷隔膜真空計CCMT-D系列、陶瓷隔膜根據(jù)氣體的壓力變化發(fā)生變形、電容式真空計根據(jù)靜電容量的變化檢測壓力。傳感器部由陶瓷一體構(gòu)造,具備優(yōu)秀的再現(xiàn)性、穩(wěn)定性,在低·中真空領(lǐng)域不受氣體的種類影響(可以測量絕對壓力),能夠高精度地測量。
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日本原廠--ULVAC愛發(fā)科 陶瓷隔膜真空計
日本原廠--ULVAC愛發(fā)科 陶瓷隔膜真空計
特點
長期穩(wěn)定
使用陶瓷膜,具有優(yōu)異的耐腐蝕性
內(nèi)置式溫度補償回路
采用新結(jié)構(gòu)保護傳感器免受污垢
可以通過按鈕進行零點調(diào)整
用途
用于成膜設(shè)備工藝中的壓力監(jiān)控
用于真空溶解、真空熱處理爐等真空排氣系統(tǒng)的壓力監(jiān)控
用于太陽能電池等各種制造設(shè)備的壓力監(jiān)控
規(guī)格
型號 | |||
滿量程 | CCMT-1000D | 133kPa(1×10 3托,1.33×10 3毫巴)滿量程 | |
CCMT-100D | 13.3kPa(1×10 2托,1.33×10 2毫巴)滿量程 | ||
CCMT-10D | 1.33 千帕(10 托,13.3 毫巴)滿量程 | ||
CCMT-1D | 133Pa(1 托,1.33 毫巴)滿量程 | ||
解決 | 滿量程的 0.003% | ||
準(zhǔn)確度*1 | ±0.2%±相對于示值的溫度系數(shù)(該值表示精度零點調(diào)整) | ||
溫度系數(shù) | 零電壓 | 0.015 %滿量程/℃ | |
跨度電壓 | 0.01% 電阻/℃ | ||
工作溫度范圍 | 10 至 50℃(50 至 122 °F) | ||
反應(yīng)速度 | 30毫秒或更短 | ||
氣體接觸段材質(zhì) | Al 2 O 3、Vacon70 *2、SUS316 *3、玻璃陶瓷焊料、Ag Ti Cu硬焊料 | ||
輸入功率 | DC14~30V,1W | ||
輸出 | DC 0 至 10V 滿量程 | ||
重量 | 329克 | ||
方面 | 55毫米×117毫米 | ||
溫度補償 | 內(nèi)部溫度補償電路 | ||
電連接器 | D-sub 15 針公頭(No.4-40,DNC 螺絲) |
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